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フランジコネクター



フランジコネクター
特徴

弊社では、対象材料の特性に応じて様々な搬送容器の設計製作や、容器搬送ライン、容器管理の自動倉庫システムを構築する事が可能です。

  • 搬送容器と真空系と接合するフランジクランパー
  • 外部駆動によるバルブ開閉ユニット、密閉確認装置
  • 駆動系ユーティリティの供給ユニット
標準対応
真空雰囲気で対象材料の各種処理が可能です。真空
各種ガス雰囲気で対象材料の処理が可能です。雰囲気
オプション対応
貴社御要望に応じた新規設計対応が可能です。新規設計
※上記オプション対応が可能です。各仕様は、別途詳細打ち合わせに基づき決定致します。弊社営業マンにお問い合わせ下さい。
印刷画面
仕様・シリーズ
型式 フランジ径
(A)
圧力域
(Pa)
駆動系 外形寸法 (mm)
機長L 機幅W 全高H
VFC-150 150 0.1〜0.2M エア/電気 レイアウト・対象形状により各項決定。
VFC-200 200 0.1〜0.2M エア/電気
VFC-250 250 0.1〜0.2M エア/電気
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